YASKAWA安川雙臂真空晶圓傳送機(jī)械手

YASKAWA安川雙臂真空晶圓傳送機(jī)械手

安川真空晶圓搬運(yùn)機(jī)械手特點(diǎn):

1、適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn);

2、牙叉材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì);

3、配備動(dòng)作監(jiān)視器;

4、S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓;

5、手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置;

6、真空密封:磁流體密封裝置和波紋管;

7、手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級(jí)過(guò)濾器。